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高頻等離子設(shè)備應(yīng)用范圍

    高頻等離子感應(yīng)加熱設(shè)備是利用真空管式高頻振蕩器在輸出工作線圈上產(chǎn)生較強(qiáng)的高頻、高壓電磁場，使定向流經(jīng)工作線圈內(nèi)的氬氣、氧氣、氮氣、壓縮空氣，迅速電離點燃后形成高溫等離子火炬，亦稱射頻等離子炬。其核心溫度可達(dá)20000℃。廣泛用于耐高溫石英玻璃沉積、制備難熔金屬納米粉體，氧化物、氮化物、碳化物等納米粉體及上述粉末的球化處理，同時也應(yīng)用于多晶硅的區(qū)熔、拉伸等工藝。

    功率：8KW~200KW

    頻率：1MHZ~6MHZ

高頻等離子設(shè)備應(yīng)用現(xiàn)場